База Гостов

ГОСТ Р 52250-2004. Материалы электронной техники. Резисты для литографических процессов. Общие технические условия

Настоящий стандарт распространяется на резисты литографических процессов производства полупроводниковых приборов и интегральных микросхем

Название на англ.:	Electronic engineering materials. Resists for lithography processes. General specifications
Тип документа:	стандарт
Статус документа:	действующий
Число страниц:	31
Дата актуализации текста:	01.08.2013
Дата актуализации описания:	01.08.2013
Дата издания:	02.07.2004
Дата введения в действие:	01.01.2005
Дата последнего изменения:	22.05.2013