База Гостов

Главная
База Гостов

Общероссийский классификатор стандартов → ЭЛЕКТРОТЕХНИКА → Полупроводниковые материалы

ГОСТ 26239.8-84. Кремний полупроводниковый и исходные продукты для его получения. Метод определения дихлорсилана, трихлорсилана и тетрахлорида кремния

Настоящий стандарт устанавливает метод определения дихлорсилана, трихлорсилана и тетрахлорида кремния в четыреххлористом кремнии ректификационно очищенном и в смесях четыреххлористого кремния с трихлорсиланом

Название на англ.:	Semiconductor silicon and raw materials for its production. Method of dichlorsilane, trichlorsilane and silicon tetrachloride determination
Тип документа:	стандарт
Статус документа:	действующий
Число страниц:	9
Дата актуализации текста:	01.08.2013
Дата актуализации описания:	01.08.2013
Дата издания:	21.01.1985
Дата введения в действие:	01.01.1986
Дата последнего изменения:	22.05.2013